
Perilaku Etsa Plasma Oksigen pada Lapisan Karbon seperti Berlian untuk Tekstur Mikro
Penelitian komprehensif berisi tentang mekanisme etsa karbon seperti berlian (diamond-like carbon, DLC) menggunakan plasma oksigen. Studi ini menggabungkan pendekatan eksperimental dan simulasi dinamika molekul (MD).










